SEM掃描電鏡作為一種強(qiáng)大的顯微分析工具，其高分辨率成像能力和廣泛的應(yīng)用前景使其在科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中扮演著越來(lái)越重要的角色。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，我們有理由相信，SEM將在未來(lái)的科技發(fā)展中發(fā)揮更大的作用，為人類探索未知世界提供更加準(zhǔn)確的視角和手段。
 

　　SEM掃描電鏡(SEM)的維護(hù)保養(yǎng)是確保其正常運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命的關(guān)鍵：
 

　　1.電子光學(xué)系統(tǒng)的清洗
 

　　-清洗頻率：每次更換燈絲時(shí)，柵帽、柵帽光闌固定圈都要清洗，不必每次都要清洗物鏡光闌柄。當(dāng)見到明顯的污染及圖象象散過(guò)大時(shí)，就要清洗物鏡光闌柄并換新光闌或用酒精燈燒物鏡光闌柄。
 

　　-清洗部位：物鏡下極靴孔、襯管等。
 

　　-注意事項(xiàng)：在SEM掃描電鏡操作室中，如果是鎢燈絲SEM掃描電鏡，應(yīng)定期對(duì)柵極片的污染部位進(jìn)行清潔，使用金屬研磨膏來(lái)進(jìn)行擦拭，然后用丙酮或酒精等有機(jī)溶液進(jìn)行超聲波清洗；對(duì)于物鏡光闌的清洗，要用專用工具拆卸和清洗，并且要輕拿輕放，不能用鑷子夾持光闌孔，不能夾持光闌孔。
 

　　2.鏡筒襯管的維護(hù)和清洗
 

　　-準(zhǔn)備工具：專用工具、鏡筒襯管清洗棒、鏡筒襯管。
 

　　-清洗步驟：打開鏡筒上部發(fā)射倉(cāng)頂蓋，使用專業(yè)工具提取鏡筒襯管，慢慢用專用工具插入鏡筒襯管中，推出其中的光闌，然后取出光闌和襯管分開清洗，清洗后將光闌和襯管按原位置推進(jìn)去烘烤后倒置安裝。
 

　　3.電子槍的清洗和維護(hù)
 

　　-拆卸燈絲組件：用氨水將燈絲組件柵帽附近的揮發(fā)物擦拭干凈，然后用酒精擦一遍。注意：如果燈絲組件用的時(shí)間較長(zhǎng)，除了柵帽附近較臟外，其它部位也較臟，則整個(gè)組件全部拆下來(lái)清洗。
 

　　-重裝燈絲：將燈絲重裝及燈絲調(diào)中調(diào)節(jié)到燈絲剛好處于柵帽光闌中心的距離，并注意“O”型圈上不要沾有灰塵或毛狀物，注意環(huán)境的干燥和清潔。